反應(yīng)離子刻蝕（關(guān)于反應(yīng)離子刻蝕的基本詳情介紹）
來源：互聯(lián)網(wǎng)
時(shí)間：2023-09-09 01:25:35
【資料圖】
1、RIE，全稱是Reactive Ion Etching，反應(yīng)離子刻蝕，一種微電子干法腐蝕工藝。
2、是干蝕刻的一種，這種蝕刻的原理是，當(dāng)在平板電極之間施加10～100MHZ的高頻電壓（RF，radio frequency）時(shí)會(huì)產(chǎn)生數(shù)百微米厚的離子層（ion sheath），在其中放入試樣，離子高速撞擊試樣而完成化學(xué)反應(yīng)蝕刻，此即為RIE（Reactive Ion Etching）。
本文應(yīng)離子刻蝕的基本詳情介紹就講解完畢，希望對(duì)大家有所幫助。
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